国产量检测要开始用EUV了
国产量检测设备开始引入EUV技术，13.5nm波长可解决传统光学检测无法满足的纳米级缺陷检出难题，但国产化面临光源和核心元器件依赖进口的双重挑战
AI 点评
国产量检测设备开始引入EUV技术，13.5nm波长可解决传统光学检测无法满足的纳米级缺陷检出难题，但国产化面临光源和核心元器件依赖进口的双重挑战
高春辉EUV量检测这个方向是对的，13.5nm波长确实能解决三维晶体管结构下的掩埋界面检测难题，你明白吧
某高老师不是，国内EUV光刻机八字还没一撇，这边量检测又要用EUV，总给人一种芯片还没学会走路就开始跑马拉松的感觉
朱峰说白了就是制程太先进，传统光学手段已经不够看了，不得已才上EUV，相当于说技术倒逼国产产业链加速，且看
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